發布時間： 2015-08-07 瀏覽次數: 作者：卓定科技
屏幕顯示行業越來越火，隨之對鍍膜工藝的要求也越來越高，膜厚測試的需求也變得越來越多。膜厚測試有很多種方法，今天我給大家介紹無損檢測的兩種光學測試方法：薄膜反射干涉法和橢偏光譜法。
一、薄膜反射干涉測量膜厚
測量原理:入射光經薄膜上表面反射后得到第一束光,折射光經薄膜下表面反射又經上表面折射后得到第二束光,這兩束光在薄膜的同側,由同一入射振動分出,是相干光,當兩束光相遇時會產生干涉。
根據公式：
Δ=2ntcos(θt)±λ/2
式中n為薄膜的折射率，t為入射點的薄膜厚度，θt為薄膜內的折射角，±λ/2 是由于兩束相干光在性質不同的兩個界面(一個是光疏-光密界面，另一是光密-光疏界面)上反射而引起的附加光程差。
系統配置：光譜儀、光源、反射探頭、支架、標定硅片
優點：適用于大部分已知n、k系數的介質的透明、半透明材料，且成本相對低。（需要知道測試樣品的n、k值，才能測得膜厚）
干涉法軟件界面-海洋光學
二、橢偏光譜法測量膜厚
測量原理：光源經過起偏器和濾鏡后得到已知入射光的偏振態，偏振光在樣品表面被反射,測量得到反射光偏振態（幅度和相位），可計算出材料的光學屬性，包括膜厚、透過率、消光系數等。
橢偏儀測量的公式比較復雜，不在這里展開。需要了解的請直接聯系我們。
系統配置：光源、起偏器、濾片、檢偏器、光譜儀。
優點：測量精度高，可以測量超薄膜的膜厚，可以測得多層介質的n、k系數。
橢偏法軟件界面-海洋光學